真空镀膜机在镀膜的时候,需要镀层表面的化学成分保持均匀性,这主要体现在以下三个方面:1、厚度上的均匀性,也可以理解为粗糙度,在光学薄膜的尺度上看也就是1/10波长作为单位,约为100A,真空镀膜的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内,也就是说对于薄膜的光学特性来说,真空镀膜没有任何障碍。但是如果是指原子层尺度上的均匀度,也就是说要实现10A甚至1A的表面平整,具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。2、化学组分上的均匀性:就是说在薄膜中,化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性,SiTiO3薄膜,如果镀膜过程不科学,那么实际表面的组分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,镀的膜并非是想要的膜的化学成分,这也是真空镀膜的技术含量所在。3、晶格有序度的均匀性:这决定了薄膜是单晶,多晶,非晶,是真空镀膜技术中的热点问题。真空镀膜机运用镀膜资料镀膜之前,对镀膜资料做简略的外表清洁能延伸镀膜机运用寿命。成都全自动蒸镀机厂家
真空镀膜设备维修保养又有什么技巧呢?1、当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。方法是:拧开放油螺栓,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。2、扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显变慢,或操作失当,充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。金属蒸镀设备供货报价真空镀膜机不像化学电镀会用重金属溶液和酸溶液进行镀膜。
真空镀膜机操作程序具体操作时请参照该设备说明书和设备上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。①检查真空镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。②打开总电源开关,设备送电。③低压阀拉出。开充气阀,听不到气流声后,启动升钟罩阀,钟罩升起。④安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位,保证无任何杂质污物。⑤落下钟罩。⑥启动抽真空机械泵。⑦开复合真空计电源(复合真空计型号:Fzh-1A)。a.左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。b.低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至110mA时,左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。⑧当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时,低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。⑨真空镀膜机开通冷却水,启动扩散泵,加热40min。⑩低压阀拉出。重复一次⑦动作程序:左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至6.7Pa时,开高压阀(阀杆顺时针旋转)。⑪等低真空表“2”内指针右移动至0.1Pa时,开规管灯丝开关。
真空镀膜机的维修方法介绍:当正在镀膜时真空度突然下降:1、蒸发源水路胶圈损环(更换胶圈);2、坩埚被打穿(更换坩埚);3、高压电极密封处被击穿(更换胶圈);4、工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈);5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀);6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀);7、机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否工作正常);8、烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶圈);9、挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈);10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃)。降低真空镀膜设备室内空气流动性低、需尽量减小室外灰尘侵入。
真空镀膜设备要在真空条件下工作,因此该设备要满足真空对环境的要求。真空对环境的要求,一般包括真空设备对所处实验室(或车间)的温度、空气中的微粒等周围环境的要求,和对处于真空状态或真空中的零件或表面要求两个方面。这两个方面是有密切联系的。周围环境的好坏直接影响真空设备的正常使用;而真空设备的真空室或装入里面的零件是否清洗,又直接影响设备的性能。如果空气中含有大量的水蒸气和灰尘,在真空室没有经过清洗的情况下用油封机械泵去抽气,要达到预期的真空度很难的。真空镀膜机中途停电时,应立即关总电源,后关扩散泵、粗抽泵、维持泵。太阳能电池蒸镀机厂家直供
真空镀膜技术代替传统的电镀工艺,能节省大量的膜材和降低能耗。成都全自动蒸镀机厂家
真空镀膜机的操作注意事项:1、真空镀膜机操作员要穿着整洁,袖口扣紧(佩戴袖套),上衣下摆不能敞开,不得穿拖鞋、高跟鞋;2、检查电路各控制开关能否正常断开闭合,电压指示380±20V;3、检查各螺钉处连接是否牢固,电控柜、主机的连接线有无松脱现象、接地是否良好;所有电器的开关在零或者“关”的位置上;4、检查镀膜机室内不锈钢挡板的插销是否牢固,角部有无弯曲翘曲等变形情况;5、检查水压、气压是否正常;水、油、气是否有漏滴现象;6、设备中途停水时,应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵,让维持泵继续运行;7、设备中途停气时,应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵,让维持泵继续运行。成都全自动蒸镀机厂家
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